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半导体制造中的湿法清洗技术

湿法清洗即使用化学溶剂或者去离子水清洗 晶圆。 湿法清洗按照工艺方法可分为浸泡法和喷涂 法两种,如图 3 所示。 浸泡法是将晶圆浸入到装有 化学溶剂或者去离子水的容器槽中。 浸泡法是广泛 使用的一种方法, 尤其是针对一些比较成熟的节 点。 而喷涂法是将化学溶剂或者去离子水喷到旋转 的晶圆上以去除杂质的方法。 浸泡法可以同时处理 多个晶圆,喷涂法一个作业腔室只能同时处理一片 晶圆。 随着工艺的发展,清洗工艺的要求越来越高, 喷涂法的使用也越来越广泛。 1.2 干式清洗 顾名思义,干式清洗就是不使用化学溶剂或者 去离子水等物质,而是采用气体或等离子体等来进 行清洗的工艺。 随着技术节点的不断推进,清洗工 艺的要求越来越高 [9-10] ,使用的比例也在不断增加, 湿法清洗产生的废液也是大量增加。

大安カレンダー 2023年|令和5年の開運吉日!一粒万倍日・天赦日・寅の日を一目で確

令和5年(2023年)の大安カレンダー。大安や六曜、一粒万倍日、天赦日、寅の日などの縁起の良い日を簡単にチェック。仕事や結婚式など大切なイベントの日程決めに役立つベストカレンダー。日本の伝統的な暦を活用して、あなたの計画をさらに充実させましょう。

過年啪啪啪也有禁忌 「新春第一炮」最好選這天

今年農曆春節假期長達10天,情侶或夫妻免不了魚水之歡,照古人的說法,初一至初三不宜行房,原因在於這3天做愛會讓陰陽不調、傷元氣和影響整年運勢等,因此初四後是最適合「開炮」的日子。 據馬來西亞綜合媒體報導,以前的人非常重視農曆過年,春節期間做愛的時間也會特別講究,會刻意避開初一到初三。...

2023年九宮飛星圖及風水方位吉兇與化解

天有九星、地有九宮,九宮飛星實際上也體現出了風水輪流轉的道理,九星每年進入不同的宮位,影響風水方位吉兇。那么2023年九星都會飛臨什么方位,哪些方位吉利,哪些方位不吉,又如何催旺和化解呢?一起來看看吧。 一白貪狼星飛星到西南方,是2023年的風水桃花位 一白星是當運的生氣之星,

鱷魚的象徵意義和含義

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紅膠花是什麼?解構紅膠花功效、禁忌、等級劃分&真假辨別方法

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几十块钱的白玉菩提是真的吗?鉴别真伪的小技巧

白玉菩提,又称白菩提、白玉子,是一种珍贵的佛教用品,因其质地坚硬、色泽洁白、寓意吉祥而受到人们的喜爱。然而,市场上也存在一些几十块钱的白玉菩提,让人不禁质疑其真伪。那么,几十块钱的白玉菩提是真的吗?如何鉴别真伪呢?

やってはいけないng風水 玄関編 運気を下げる玄関に置いてはいけないものは?

ところで、玄関でやってはいけないng風水とか、置いてはいけないngな置物って、いったい、どのようなものでしょうか? 玄関を汚くしたり、ゴミを置いたりするのはダメっていうのはわかりますけど、それ以外にどんなことに気をつければ良いのでしょうか?

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